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专职教师

专职教师

教育背景

1985.9至1989.7 bat365正版唯一官网就读微电子专业获学士学位

1989.9-1990.11北京半导体器件五厂

1990.11-1993.2借调bat365正版唯一官网微电子所

1993.2-现在 bat365正版唯一官网

先后参加过双极器件和电路的工艺研制，MEMS结构刻蚀工艺研究，主要从事半导体工艺测试及刻蚀工艺研究，负责调研引进并管理实验室多台核心进口设备，先后参与多项院内承担的重大科研项目和实验室改建扩建工作。

作为第一负责人完成高深宽比氧化硅刻蚀技术研究、基于MEMS技术的可调超宽禁带滤波器关键技术研究实验室基金项目，并获高深宽比玻璃刻蚀研究专利；参与完成纳米尺度硅微结构刻蚀技术研究、多种MEMS基础结构标准工艺研究、MEMS加工工艺研究等多项实验室基金和预研基金项目。